日前，由中科院沈阳自动化研究所所属沈阳先进制造技术产业发展有限公司与韩国ＳＴＬ株式会社共同投资建立的，中外合资沈阳芯源先进半导体技术有限公司一期研发生产基地破土动工。芯源公司同沈阳芯片生产线ＴＳＬＳ的建成投产，标志着沈阳既有集成电路生产线又有集成电路生产装备，将对沈阳形成集成电路产业链具有重要意义，对沈阳调整产业结构起到先导作用。 总投资额８４０万美元的芯源公司由中方控股，主营产品Ｔｒａｃｋｓｙｓｔｅｍ在中国也称涂胶机，是集成电路生产前道工序中的关键设备，用于对晶片的涂胶、显影处理，与光刻机配合工作。 芯源公司坐落在浑南新区的新厂区，占地１８６３０平方米，总建筑面积１１３３１．７平方米，建成之后的厂区将为沈阳建设半导体生产装备基地提供国内一流的环境和技术条件。届时，芯源公司的年销售额将超过１０００万美元。
沈阳集成电路生产基地将破土动工
日前，由中科院沈阳自动化研究所所属沈阳先进制造技术产业发展有限公司与韩国ＳＴＬ株式会社共同投资建立的，中外合资沈阳芯源先进半导体技术有限公司一期研发生产基地破土动工。芯源公司同沈阳芯片生产线ＴＳＬＳ的
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