台湾SKF(斯凯孚)公司推出磁浮轴承。该公司介绍,半导体工业需要极纯净的环境来制造电路晶片,其中TMP(Turbo Molecular Pumps)涡轮真空泵主要是利用高速旋转的涡轮叶片转子,撞击气体分子,把气体分子带出制程腔体。由于需要高速旋转,传统陶瓷轴承系统存在油气污染问题,目前业界已大量使用无接触的伺服轴承。SKF磁轴承可应用于三轴加工中心机床,主轴转速100000r/min,还可以用于高速离心式压缩机、机床高速主轴等。
台湾SKF(斯凯孚)公司推出磁悬浮轴承
台湾SKF(斯凯孚)公司推出磁浮轴承。该公司介绍,半导体工业需要极纯净的环境来制造电路晶片,其中TMP(Turbo Molecular Pumps)涡轮真空泵主要是利用高速旋转的涡轮叶片转子,撞击气体分子,把气体分子带出制程腔体。
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