日本精工公司日前在2005年日本国际半导体设备与材料展览暨研讨会(SEMICONJapan2005)上,展出了可在水、酸和碱性环境下使用的轴承“不锈钢自动调心滚子轴承”系列。
该系列轴承属于适合于无尘环境、真空及高温和低温下使用的“Spacea轴承”系列的追加产品。使用该轴承,能够延长在洗净工序中使用的搬运设备所用轴承的保修时间。 新系统在内外轮中采用了高耐腐蚀性马氏体不锈钢“ES1”。ES1通过对碳和铬的用量进行调整,抑制了大共晶碳化物的产生。同时通过在制钢过程中添加氮气,提高了硬度与耐腐蚀性。与普通轴承使用的“SUJ2”钢相比,具有10倍以上的耐腐蚀性。 容许调心角度为4~7°。润滑剂采用了低粉化型和真空用润滑剂。共有6种产品,内径在10~25mm之间。2005年12月上市。
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