2013年10月,比利时Wilrijk:半导体制造商NaniumSA使用5台阿特拉斯·科普柯水冷式螺杆压缩机提供可靠的高质量压缩空气,同时使用阿特拉斯·科普柯ER900热量回收系统大幅降低二氧化碳排放并实现卓越节能。
阿特拉斯·科普柯设备在半导体制造商的能量回收系统中发挥关键作用
NaniumSA是一家位于葡萄牙维拉多康德的半导体制造商,在可持续生产力方面与阿特拉斯·科普柯保持了16年成功的合作关系。从一开始,Nanium就选择了搭配干燥系统和过滤系统的阿特拉斯·科普柯无油压缩机,以获得优质压缩空气。Nanium基础设施管理主管CarlosCosta补充道:“半导体工厂设施在可靠性和压缩空气质量方面有着非常严格的要求,而阿特拉斯·科普柯在这方面具有丰富的经验。”
目前,Nanium在其工厂内安装了5台阿特拉斯·科普柯水冷式螺杆无油压缩机——3台ZR300,1台带变速驱动(VSD)的ZR315VSD和1台ZR400。压缩空气几乎全部用于洁净室,与制造中的产品直接接触。因此,每台压缩机都配有一台加热鼓风机净化吸附式空气干燥机(BD干燥机),以获得高质量的露点(PDP<-40C)。此外,Nanium要求达到无油条件以及符合标准ISO8573Class0的低颗粒数量,以满足其严格的标准。
该公司还选择了阿特拉斯·科普柯压缩机帮助改进工厂的能耗。“做出这一选择是考虑让设备能够满负荷运行,而变速压缩机能够让压缩空气生产适应设备的消耗量,始终确保压缩机保持高能效水平并在最佳工作条件下运行,”Costa指出。
除了这5台压缩机,Nanium最近还购买了1台阿特拉斯·科普柯ER900装置,用于水冷式无油空气压缩机中热量回收的热水管理系统。
ER900利用热水从压缩机回收热量。为了满足Nanium的需求,阿特拉斯·科普柯对该公司的压缩机进行改动,使排出的冷却水温度约为80°C。热水被泵至一个热交换器,其辅助回路将回流水送回锅炉。因此,显著减少了初级能源(燃气)的使用。
“这让我们几乎可以不使用燃气锅炉,大幅减少了CO2排放和能量成本,”Costa说道。正因如此,工厂天然气的消耗量减少了约90%。此外,鉴于压缩机在热量回收系统中发挥的作用,其消耗的能量成本相对也较便宜。
两家公司之间的合作关系不仅仅基于设备,还包括阿特拉斯·科普柯的设备维护服务。对此Costa称赞道:“保持其压缩机持续工作15年,全天24小时运作,无重大故障,实现大量节省”。
Nanium的压缩空气生产能力超过了当前需求,在可预见的未来不需要增加装机容量。但是,CarlosCosta对Nanium与阿特拉斯·科普柯合作的满意度表示肯定:“毫无疑问,我会推荐其他人使用阿特拉斯·科普柯的设备。”
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