它的研制成功,打破了国外产品对我国市场的垄断。双侧无油涡旋真空泵是能在大气压力至5Pa的压力范围内工作,创造无油清洁真空环境的真空泵。这种泵广泛应用于微电子、半导体、生物制药、食品加工、航空航天、科学研究等领域,对现代科学的发展起着技术平台的作用。
这种泵特殊的免机动磨擦效能令抽入的气体不会因为机动磨擦的操作面产生微粒污染物,因而不必经常维护,振动和噪音均很低,结构简单、零件数目少、检修方便。同时涡旋盘经过特殊表面处理提高了耐磨性与耐蚀性。其抽气结构由旋转的涡旋体和固定的涡旋体组成,吸气、压缩和排气连续进行,排气均匀,驱动力矩变化很小,可从大气压到极限真空平稳工作。
双侧无油涡旋真空泵的研发成功填补了我国真空获得设备和应用领域的空,打破了国外产品的垄断,是具有我国自主知识产权的仪器设备。双侧无油涡旋真空泵达到了国际同类产品水平,而产品价格仅为同类进口产品的1/3。不仅可以替代进口,并且以其优良的性能价格比参与国际竞争。
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